Electrolytic bath for anodic and cathodic processing of metal and oxide layers on dielectric, semiconducting and metallic substrates
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F12%3APR26515" target="_blank" >RIV/00216305:26220/12:PR26515 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/Products.aspx" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/Products.aspx</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Electrolytic bath for anodic and cathodic processing of metal and oxide layers on dielectric, semiconducting and metallic substrates
Popis výsledku v původním jazyce
The device is designed as a cylindrical type electrolytic cell (bath) made of polytetrafluoroethylene (PTFE) consisting of two major components: the upper part to be filled with a liquid electrolyte and the bottom part for holding sample to be processed. The samples are pieces of silicon wafers with metal or oxide layers on top. For being processed, the samples are individually introduced in the device, were they are pressed from the face sides by a PTFE ring of the upper cell part, so that a circular area of the face side of the sample, 3-20 mm in diameter, is in contact with anodizing solution while the back wafer side is fully isolated from the treatment. AutoCAD-made drawings of cell's parts and assembly drawings of the whole device are available.
Název v anglickém jazyce
Electrolytic bath for anodic and cathodic processing of metal and oxide layers on dielectric, semiconducting and metallic substrates
Popis výsledku anglicky
The device is designed as a cylindrical type electrolytic cell (bath) made of polytetrafluoroethylene (PTFE) consisting of two major components: the upper part to be filled with a liquid electrolyte and the bottom part for holding sample to be processed. The samples are pieces of silicon wafers with metal or oxide layers on top. For being processed, the samples are individually introduced in the device, were they are pressed from the face sides by a PTFE ring of the upper cell part, so that a circular area of the face side of the sample, 3-20 mm in diameter, is in contact with anodizing solution while the back wafer side is fully isolated from the treatment. AutoCAD-made drawings of cell's parts and assembly drawings of the whole device are available.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
CG - Elektrochemie
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
R - Projekt Ramcoveho programu EK
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
teflon cell
Číselná identifikace
96887
Technické parametry
The area available for processing - 3...20 mm; sample size - 1x1...3x3 cm; electrolyte volume - up to 200 ml; counter electrode - changeable (Al, Pt, Au, etc); assembly/desembly - by screwing motions; working temperature - 0...70 deg cent.; available current densities - 0...2 A; voltage - 0...1200 V; stirring - possible on demand; isolation - yes on demand; Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika)
Ekonomické parametry
10 000 Kč vývoj cely
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
—
Název vlastníka
Ústav mikroelektroniky
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/Products.aspx