The Nanolithography Toolbox
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F16%3APU121265" target="_blank" >RIV/00216305:26220/16:PU121265 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://apps.webofknowledge.com/full_record.do?product=WOS&search_mode=GeneralSearch&qid=4&SID=W2hKFfHmgNk3xhiPDY1&page=1&doc=1" target="_blank" >https://apps.webofknowledge.com/full_record.do?product=WOS&search_mode=GeneralSearch&qid=4&SID=W2hKFfHmgNk3xhiPDY1&page=1&doc=1</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.6028/jres.121.024" target="_blank" >10.6028/jres.121.024</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
The Nanolithography Toolbox
Popis výsledku v původním jazyce
This article introduces in archival form the Nanolithography Toolbox, a platform-independent software package for scripted lithography pattern layout generation. The Center for Nanoscale Science and Technology (CNST) at the National Institute of Standards and Technology (NIST) developed the Nanolithography Toolbox to help users of the CNST NanoFab design devices with complex curves and aggressive critical dimensions. Using parameterized shapes as building blocks, the Nanolithography Toolbox allows users to rapidly design and layout nanoscale devices of arbitrary complexity through scripting and programming. The Toolbox offers many parameterized shapes, including structure libraries for micro-and nanoelectromechanical systems (MEMS and NEMS) and nanophotonic devices.
Název v anglickém jazyce
The Nanolithography Toolbox
Popis výsledku anglicky
This article introduces in archival form the Nanolithography Toolbox, a platform-independent software package for scripted lithography pattern layout generation. The Center for Nanoscale Science and Technology (CNST) at the National Institute of Standards and Technology (NIST) developed the Nanolithography Toolbox to help users of the CNST NanoFab design devices with complex curves and aggressive critical dimensions. Using parameterized shapes as building blocks, the Nanolithography Toolbox allows users to rapidly design and layout nanoscale devices of arbitrary complexity through scripting and programming. The Toolbox offers many parameterized shapes, including structure libraries for micro-and nanoelectromechanical systems (MEMS and NEMS) and nanophotonic devices.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2016
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
JOURNAL OF RESEARCH OF THE NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY
ISSN
1044-677X
e-ISSN
2165-7254
Svazek periodika
121
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
11
Strana od-do
464-475
Kód UT WoS článku
000386639600001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-84994388394