High aspect ratio Parylene C micropillars formed by molding and ION-BEAM etching method
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F22%3APU145112" target="_blank" >RIV/00216305:26220/22:PU145112 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.confer.cz/nanocon/2021/4349-high-aspect-ratio-parylene-c-micropillars-for-cellular-force-measurement" target="_blank" >https://www.confer.cz/nanocon/2021/4349-high-aspect-ratio-parylene-c-micropillars-for-cellular-force-measurement</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.37904/nanocon.2021.4349" target="_blank" >10.37904/nanocon.2021.4349</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
High aspect ratio Parylene C micropillars formed by molding and ION-BEAM etching method
Popis výsledku v původním jazyce
This paper represents the molding and plasma etching method for developing a high aspect ratio parylene C pillar array. The silicon mold was fabricated using the modified Bosch process. The parylene was deposited by chemical vapor deposition into the silicone holes, followed by the etching of silicon to obtain the transparent membrane of hollow parylene C pillars. The etching method was initialized by transferring the pattern on the hard titanium mask via standard photolithography, followed by titanium etching. The oxygen plasma ion-milling of parylene C produced the flexible pillars standing on the silicon substrate. Both pillar arrays were characterized by scanning electron microscopy. Arrays of micropillars could be applicable for measuring cellular forces or as the bioinspired platform with modulated surface chemistry.
Název v anglickém jazyce
High aspect ratio Parylene C micropillars formed by molding and ION-BEAM etching method
Popis výsledku anglicky
This paper represents the molding and plasma etching method for developing a high aspect ratio parylene C pillar array. The silicon mold was fabricated using the modified Bosch process. The parylene was deposited by chemical vapor deposition into the silicone holes, followed by the etching of silicon to obtain the transparent membrane of hollow parylene C pillars. The etching method was initialized by transferring the pattern on the hard titanium mask via standard photolithography, followed by titanium etching. The oxygen plasma ion-milling of parylene C produced the flexible pillars standing on the silicon substrate. Both pillar arrays were characterized by scanning electron microscopy. Arrays of micropillars could be applicable for measuring cellular forces or as the bioinspired platform with modulated surface chemistry.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
21001 - Nano-materials (production and properties)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GJ19-04270Y" target="_blank" >GJ19-04270Y: Mapování trakční síly buněk v reálném čase</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
NANOCON Conference Proceedings - International Conference on Nanomaterials
ISBN
9788088365006
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
1-4
Název nakladatele
TANGER
Místo vydání
neuveden
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
20. 10. 2021
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—