Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F12%3APR26407" target="_blank" >RIV/00216305:26620/12:PR26407 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
Popis výsledku v původním jazyce
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.
Název v anglickém jazyce
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
Popis výsledku anglicky
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
PVD holder
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika) Určeno pro napařování či naprašování materiálů na Si substrát. Duralový přípravek a měděná šablona tloušťky 150um.
Ekonomické parametry
Vývoj 10 tis. Kč, know-how 20 tis. Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Středoevropský technologický institut VUT
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—