Depoziční pracoviště pro CNT pomocí acetylénu za sníženého tlaku
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F13%3APR27223" target="_blank" >RIV/00216305:26620/13:PR27223 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=71" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=71</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Depoziční pracoviště pro CNT pomocí acetylénu za sníženého tlaku
Popis výsledku v původním jazyce
Pracoviště pro depozici uhlíkových nanotrubic pomocí rozkladu acetylenu za sníženého tlaku se skládá z rotační a difúzní vývěvy, skleněné komory a vyhřívaného držáku vzorku. Do komory je skrz průchodky přiveden acetylén, který slouží jako zdroj uhlíku pro následnou tvorbu uhlíkových nanotrubic. Celý proces probíhá tak, že na křemíkový substrát je přes masku napařen katalyzátor (např. kobalt či železo). Vzorek je poté umístěn do komory na vyhřívaný držák. Po vyčerpání na požadovaný tlak je na zahřátý vzorek puštěn acetylen přesně definovaným průtokem. V místě napařeného katalyzátoru pak vyrostou vertikálně zarovnané nanotrubice.
Název v anglickém jazyce
Workplace for CNT deposition using acetylene under low pressure
Popis výsledku anglicky
Workplace for deposition of carbon nanotubes from acetylene precursor at decreased pressure is built up from rotary and diffusion vacuum pump, glass chamber and heated holder of the sample. The acetylene is flowing to the chamber via grommet as carbon precursor for carbon nanotubes growing. Whole process is performed so that catalyst (Co or Fe) is deposited on the silicon substrate through a mask. The sample is placed in a chamber heated holder. After exhausting the required pressure, the heated sampleis exposed to well-defined flow of the acetylene. Vertically aligned nanotubes grow in the place of deposited catalyst.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
CNT-CVD
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika) Elektrická 4 pinová průchodka, vyhřívaný držák vzorku, nerezová trubice pro přívod acetylenu zakončená tryskou, difúzní a rotační vývěva
Ekonomické parametry
Vývoj: 40 tis, Knoh-how: 50 tis. Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Chytré nanonástroje
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—