Inovace temperování pláště komory napařovačky Balzers
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F13%3APR27252" target="_blank" >RIV/00216305:26620/13:PR27252 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=77" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=77</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Inovace temperování pláště komory napařovačky Balzers
Popis výsledku v původním jazyce
Termální napařovačka Balzers byla doplněna o teplotní vyhřívání pláště komory pro dosažení vyšší hodnoty vakua. Ohřev nosného média byl zabezpečen průtokovým ohřívačem a bylo doplněno přepínání na chlazení komory. Je možné pracovat s ohřevem nebo bez ohřevu pláště komory.
Název v anglickém jazyce
Inovation of thermal evaporation
Popis výsledku anglicky
The thermal evaporation system Balzers has been supplemented by thermal heating cover chamber to achieve higher vacuum. Heating the carrier fluid flow heater was secured and was supplemented by switching the cooling chamber. It can operate with heating or without heating cover chamber.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ED1.1.00%2F02.0068" target="_blank" >ED1.1.00/02.0068: CEITEC - central european institute of technology</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
temperacenap
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek byl na základě návrhu zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika). Teplotní rozsah ohřevu nosného média 30 st.C až 60 st.C Elektronická regulace teploty Maximální průtok nosného média 6,4 l/min Přepínatelné chlazení a vytápění
Ekonomické parametry
náklady 20 000 Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Chytré nanonástroje
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—