Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F14%3APR27939" target="_blank" >RIV/00216305:26620/14:PR27939 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=95" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=95</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln
Popis výsledku v původním jazyce
Rezonanční membrána vyrobená z tenké membrány nitride křemíku s elektrodou z chrom-niklu je používaná pro detekci akustických vln o určité frekvenci. Křemíková struktura je vyrobená využitím standartních křemíkových technologií a je kontaktována k čipovému pouzdru. Detekce akustického signálu je založeno na rezonanci membrány, která kmitá při působením mechanických vln s frekvencí se stejnou hodnotou jako vlastní frekvence materiálu membrány v tomto případě SixNy vytvořeného metodou LPCVD.
Název v anglickém jazyce
Membrane Resonator of Silicon Nitride for Acoustic Signal Detection
Popis výsledku anglicky
Resonant membrane made of a thin silicon nitride membrane with an electrode made of chrome-nickel is used for the detection of acoustic waves of a certain frequency. The silicon structure is manufactured using standard silicon-based technology and is contacted to a chip housing. Detection of the acoustic signal is based on the resonance of the membrane, which vibrates under the action of mechanical waves with a frequency of the same value as the natural frequency of the membrane material in this case SixNy formed by LPCVD.[strojově přeloženo]

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
Rezonanční membrána
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika).
Ekonomické parametry
náklady na výrobu méně než 100 000.-Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Středoevropský technologický institut VUT
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)