Zdroj atomů Al s radiačním ohřevem

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F14%3APR28106" target="_blank" >RIV/00216305:26620/14:PR28106 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-01/" target="_blank" >http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-01/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Zdroj atomů Al s radiačním ohřevem
Popis výsledku v původním jazyce
Zařízení je určeno pro depozici ultratenkých Al vrstev v podmínkách UHV. Vypařovaný materiál je umístěn v PBN zásobníku. Výstupní část tohoto zásobníku je během funkce zdroje aktivně ochlazována, což je velmi vhodné pro materiály s vysokou vzlínavostí, jako je například zmíněný hliník. Ohřev zásobníku je realizován průchodem elektrického proudu tantalovým odporovým drátem.
Název v anglickém jazyce
Radiatively heated Al effesion cell
Popis výsledku anglicky
This effusion cell is designed for deposition of ultrathin layers under UHV conditions. The material for evaporation is place in heated pBN crucible. Outer part of crucible is actively cooled to prevent Al diffusion outside the crucible.

Projekt
<a href="/cs/project/TE01020233" target="_blank" >TE01020233: Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
Al cela
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Zařízení je určeno k depozici Al ultratenkých vrstev v podmínkách vysokého vakua od p>1x10-5 Pa. Ohřev depozitu je až do teplot 1200 C. Tělo zdroje je vyhotoveno s F.O.Cu. a účinně chlazeno vodou. Depozit je umístěn v PBN zásobníku, kde ústízásobníkuje aktivně chlazeno. Teplota zdroje i deponovaného materiálu je měřena pomocí termočlánku. Celé zařízení je umístěno na přírubě DN40.
Ekonomické parametry
Náklady na výrobu byly 130 000Kč. Doba vývoje zařízení přesáhla několik set hodin. Zařízení je využíváno ke studiu růstu Al a AlN ultratenkých vrstev v UHV.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Příprava a charakterizace nanostruktur
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)