Correlating structural and mechanical properties of AlN/TiN superlattice films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F19%3APU131183" target="_blank" >RIV/00216305:26620/19:PU131183 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081723:_____/19:00509788 RIV/00216224:14310/19:00112862

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.scriptamat.2019.02.021" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.scriptamat.2019.02.021</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.scriptamat.2019.02.021" target="_blank" >10.1016/j.scriptamat.2019.02.021</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Correlating structural and mechanical properties of AlN/TiN superlattice films

Popis výsledku v původním jazyce

Combining first-principles and experimental techniques, we establish Young’s modulus dependence of AlN/TiN superlattices on the film-forming phases, their thicknesses and crystallographic orientations. The disparate character of cleavage properties within different layers of the superlattice— providing indications regarding crack initiation processes—is linked to the changes in bond lengths. Such changes present a direct consequence of the predicted interplanar spacing oscillations which are experimentally confirmed by high resolution transmission electron microscopy analyses.

Název v anglickém jazyce

Correlating structural and mechanical properties of AlN/TiN superlattice films

Popis výsledku anglicky

Combining first-principles and experimental techniques, we establish Young’s modulus dependence of AlN/TiN superlattices on the film-forming phases, their thicknesses and crystallographic orientations. The disparate character of cleavage properties within different layers of the superlattice— providing indications regarding crack initiation processes—is linked to the changes in bond lengths. Such changes present a direct consequence of the predicted interplanar spacing oscillations which are experimentally confirmed by high resolution transmission electron microscopy analyses.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2019

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

SCRIPTA MATERIALIA

ISSN

1359-6462

e-ISSN

—

Svazek periodika

165

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

159-163

Kód UT WoS článku

000463127300033

EID výsledku v databázi Scopus

999