Funkční vzorek kryogenního manipulátoru

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F20%3APR34270" target="_blank" >RIV/00216305:26620/20:PR34270 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Funkční vzorek kryogenního manipulátoru

Popis výsledku v původním jazyce

Teoreticky popsaný a experimentálně realizovaný mikrogripper založený na technologii MEMS (mikro-elektromechanický systém) dovoluje velmi přesné zachytávání mikroobjektů (částí vzorků pro rastrovací elektronovou mikroskopii) s lepší než mikrometrovou přesností. Zařízení obsahuje mikromanipulátor z monolitického křemíku s dvěma dlouhými rameny (statickým a pohyblivým) zakončené ostrými čelistmi. Pohyblivé přepákované rameno je aktuováno piezoelektrickým čipem. Křemíková část tohoto zařízení je vyrobena optickou litografií a hlubokým reaktivním iontovým leptáním.

Název v anglickém jazyce

Functional sample of cryogenic manipulator

Popis výsledku anglicky

The theoretically proposed and experimentally realized microgripper based on MEMS (micro-electromechanical system) technology allows high-accurate gripping of micro-objects (SEM sample chunks) with submicron precision. The device contains a monolithic silicon micromanipulator with two long arms (static and movable) ending in sharp jaws. The movable lever arm is actuated by a piezoelectric chip. Silicon part of the device is fabricated using optical lithography and deep reactive ion etching.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Projekt

<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

CRYOMAN

Číselná identifikace

169523

Technické parametry

The functional sample includes: • Silicon microgripper fabricated from monocrystalline silicon wafer. • Design contains two long arms (static and movable), both ending with sharp jaws. • Movable arm is actuated by a piezoelectric chip and its motion is enhanced by a factor of 14 using the lever principle. • Critical parts of microgripper are hinge and end of arms with jaws (sample is fragile due to these parts). • Piezo chip with electrical contacts for actuation driven by applying electrical voltage. • Aluminum holder for testing purposes (Al block with space for piezo chip and several threads for screws). • Customized micro-manipulator for SEM. The observed displacement of the jaws was up to 8 um when a voltage of 50 V was applied to a piezo actuator with corresponding average movement estimated as 150 nm/V. Functional sample was developed as monolithic silicon microgripper to reduce the tendency to cracking in cryogenic conditions due to various thermal expansion coefficients of the materials in multilayer device. Další vývojové aktivity budou pokračovat interně v TFS ve spolupráci s projektovým partnerem (VUT). V případě dosažení očekávaných parametrů funkčního vzorku předpokládáme komerční využití dosaženého výsledku v horizontu cca 5ti let. Výsledek bude komerčně nabízen v jako součást příslušenství portfólia Cryo SDB. Další nezbytné aktivity jsou modulový vývoj podle metodiky MDP firmy TFS.

Ekonomické parametry

The sample is utilized for subsequent development within Thermo-Fisher company. The future commercialization is under ongoing discussion. The main advantage resulting from this know-how will be an increased market share in the segment of cryo SDB microscopes.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

—

Název vlastníka

Příprava a charakterizace nanostruktur

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—