Prekurzorový vstup do reaktoru
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F23%3APR38739" target="_blank" >RIV/00216305:26620/23:PR38739 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/custom-cvd-showerhead?stage=Stage" target="_blank" >http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/custom-cvd-showerhead?stage=Stage</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Prekurzorový vstup do reaktoru
Popis výsledku v původním jazyce
Difuzor z nerezové oceli pro rovnoměrnou distribuci plynů v CVD aparatuře, se vstupy se Swagelok koncovkou.
Název v anglickém jazyce
Precursor inlet into CVD reactor
Popis výsledku anglicky
Gas diffusor from stainless steel for equal distribution of gases in CVD chamber, with inlets with Swagelok connection.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
—
OECD FORD obor
20506 - Coating and films
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FW06010019" target="_blank" >FW06010019: Výroba optických dílců metodami depozice z plynné fáze Chemical Vapour Deposition a Atomic Layer Deposition</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2023
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
CVD difuzor
Číselná identifikace
187506
Technické parametry
nerezová ocel, Swagelok vstupy
Ekonomické parametry
nepředpokládá se ekonomické zhodnocení, je využíváno v projektu
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Vysoké učení technické v Brně
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/custom-cvd-showerhead?stage=Stage