Ověřená technologie - senzorové struktury

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00375306%3A_____%2F14%3A%230000009" target="_blank" >RIV/00375306:_____/14:#0000009 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Ověřená technologie - senzorové struktury

Popis výsledku v původním jazyce

Byly navrženy a realizovány planární senzorové struktury pro měření elektrických vlastností vrstev z uhlíkových nanostruktur: 1. Interdigitální elektrodový systém s šířkou mezery 20 až 500 ?m z tenké vrstvy platiny nebo zlata, s vývody, které odolávají teplotám nanášení vrstev, měření a odplyňování při činnosti senzorů plynů. 2. Kombinovaný senzor zahrnující interdigitální elektrodový systém, senzor teploty a topný článek. Byla navržena technologie výroby těchto struktur v čistých prostorech a praktickyověřena za využití magnetronového naprašování vrstev Pt nebo NiCr/Ni/Au, oboustranné fotolitografie za využití techniky lift-off, tepelného zpracování, trimování odporu senzoru teploty laserem, sítotisku krycích past, řezání diamantovou pilou a připojením vývodů typu SIL. Hotové výrobky jsou podrobeny řadě měření a testů včetně funkčních.

Název v anglickém jazyce

Proven technology - sensor structures

Popis výsledku anglicky

Planar sensor structures for measurement of carbon nanostructure films electrical properties were designed and fabricated: 1. Interdigital electrode systems made of thin platinum or gold film, exhibiting 20 to 500 ?m wide gaps that can resist temperatures connected with carbon nanostructure films deposition, working and outgassing temperatures at sensors performance. 2. Combined sensor structure comprising interdigital electrode system, temperature sensor and heating element. Technology for production of these structures in clean rooms was developed and verified. The technology is based on magnetron sputtering of Pt and NiCr/Ni/Au thin films, double sided photolithography using lift-off procedure, heat treatment, temperature sensor laser trimming, screen printing of cover films, dicing diamond saw cutting and SIL leads attachment. Finished products are measured and tested including functional tests.

Druh

Z_tech - Ověřená technologie

CEP obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA03010037" target="_blank" >TA03010037: Uhlíkové nanostruktury pro senzorové aplikace</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

Senzorové struktury BI2C a KBI2C

Číselná identifikace

—

Technické parametry

TB-BI2C -NiCr/Ni/Au interdigitální elektrodový systém pro senzory plynů na Al2O3. Topologie na aktivní ploše 4,3 x 4,5 mm2 odpovídá délce elektrody 400 mm a šířce mezery 200 ?m. Izolační odpor mezi elektrodami je řádu M?. Na kontakty jsou přivařeny Ag přívody o ? 0,25 mm. Pracovní teploty -30 °C až +200 °C. TB-KBI2C -Na Al2O3 substrátu 7,5 mm x 5,6 mm jsou oboustranně vytvořeny Pt motivy. Na lícové straně je interdigitální elektroda s mezerou 200 ?m a na rubové vyhřívací element a odporová dráha šířky 30 ?m laserově nastavená na 1000 ? s TKR 3850 ppm/K a je chráněna skelnou vrstvou. Kombinovaný systém je opatřen vývody typu SIL. Pracovní teploty je -30 °C až +200 °C. Výsledku bylo dosaženo ve druhém roce řešení projektu. Uživatelem výsledku projektu bude TESLA BLATNÁ, a.s. Smlouva o využití výsledku s poskytovatelem TA ČR bude uzavřená v zákonné lhůtě. statutární zástupce - Jan Kalous, tel.č.: 383 415 210, řešitel projektu: Ing. Pavol Ozaňák, tel.č.: 383415366

Ekonomické parametry

Výsledek Senzorové struktury- ověřená technologie umožní zvýšení ročního objemu výroby senzorů o 22%, zvýšení zisku z výroby senzorů o 15%. Při využívání této ověřené technologie dojde k úspoře výrobních nákladů při výrobě senzorů BI2C a KBI2C oproti stávající technologii o 18 %.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

00375306

Název vlastníka

TESLA Blatná, a.s.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—