Funkční vzorek litografu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F01733214%3A_____%2F15%3A00000001" target="_blank" >RIV/01733214:_____/15:00000001 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Funkční vzorek litografu

Popis výsledku v původním jazyce

Byl sestaven funkční litografický systém, a na základě jeho funkčních testů budou stanoveny směr a priorit dalšího vývoje. Funkční vzorek zařízení včetně řídícího software zařízení je kompletně sestaven. Testování subcelků poskytly další podněty k vylepšování a optimalizace v konstrukci. Paralelně probíhal vývoj základního software pro řízení litografu a firmware DSP/FPGA, a následně byl testován funkčnost subcelků, a posléze celého systému. Odměřovací systém: Elektronika odměřovacího systému byla vyrobena a softwarové detekce a zpracování interferometrického systému byla dokončena. Pro funkční vzorek litografického systému byla sestrojena úplně nová modulární elektronika s možností modifikací. Byly vypracovány metody pro vyhodnocení nepřesnosti expozice velkých ploch. Software pro řízení litografického systému je dokončena a integrována do software pro řízení mikroskopu. První testovací litografické struktury byly realizovány.

Název v anglickém jazyce

Functional sample of a lithograph

Popis výsledku anglicky

A functional lithographic system was assembled, and based on its functional tests, the direction and priorities for future development will be determined. The functional sample including device control software is fully integrated. Testing of the individual components provided leads for improving and optimizing the overall system. Software development for managing lithograph and the DSP / FPGA firmware ran in parallel. The functionality of the components, and subsequently of the whole system was tested. Measuring system: An electronic measuring system was manufactured and software detection and processing of the interferometric system has been completed. Completely new modular electronics allowing for optional modifications was constructed for this functional sample. Methods were developed for assessing exposure inaccuracies over large areas. Software management for the lithograph system is complete and has been integrated into the software for microscope control. The first set of test lithographic structures have been made.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TE01020233" target="_blank" >TE01020233: Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

EBL – litografický systém

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Nagavalli S. Kiran, kiran@tescan.cz; 530 353 131

Ekonomické parametry

Funkční vzorek přístroje je základem pro vývoj prototypu, který následně bude uvolněn do výroby.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

01733214

Název vlastníka

TESCAN Brno, s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—