Dělič svazku pro DUV oblast

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F19196661%3A_____%2F24%3AN0000004" target="_blank" >RIV/19196661:_____/24:N0000004 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081731:_____/24:00602561
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Dělič svazku pro DUV oblast
Popis výsledku v původním jazyce
Binární fázový difrakční optický element byl navržen jako dělič svazku s vysokým počtem užitečných difrakčních řádů pro vlnovou délku dopadajícího světla 266 nm. Vzorek obsahuje struktury s různou střídou pro dosažení minimální účinnosti v 0. difrakčním řádu. Vzorek byl připraven pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání do materiálu fused silica. Na obě strany vzorku byla nanesena antireflexní vrstvy pro minimalizaci ztrát na rozhraní substrátu a vzduchu.
Název v anglickém jazyce
Beam splitter in DUV region
Popis výsledku anglicky
Binary phase diffractive optical element was designed as a beam splitter with high number of diffractive orders pro wavelength of 266 nm. The sample contains structures with various duty cycles to achieve minimal efficiency of the 0. diffractive order. The sample was fabricated of fused silica by the use of e-beam lithography and reactive ion etching. The anti-reflective coating was prepared on both sides of the sample to minimize the losses on the substrate-air interface.

Projekt
<a href="/cs/project/TN02000020" target="_blank" >TN02000020: Centrum pokročilé elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2024
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu
MEO_NCK2-DP0035-04_2024_GFUNK1
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Fázový difrakční optický element připravený v materiálu fused silica sloužící jako mnohonásobný dělič svazku pro DUV oblast
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731, 19196661
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i., Meopta s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)