MIR laserový zesilovací modul s emisí v oblasti 1.475 - 1.495 um

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F25296558%3A_____%2F21%3AN0000001" target="_blank" >RIV/25296558:_____/21:N0000001 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

MIR laserový zesilovací modul s emisí v oblasti 1.475 - 1.495 um

Popis výsledku v původním jazyce

Jedná se o funkční vzorek modulárního laserového pevnolátkového pulsního zesilovače emitujícího ve střední infračervené oblasti (MIR) se stř. výstupním výkonem do 5 W, optickou soustavou pro signální i budicí svazek a zdrojem budicího signálu. Předmětný modul bude subkomponentou DUV KrF laserového systému pro litografii komercializovaného firmou Gigaphoton, popř. základem uživatelsky modifikovaných verzí MIR pulsních systémů vyvíjených centrem Hilase pro biomedicínské a průmyslové aplikace.

Název v anglickém jazyce

MIR Laser amplification module with emission in the range of 1.475 - 1.495 μm

Popis výsledku anglicky

This is a functional sample of a modular laser solid-state pulse amplifier emitting in the mid-infrared range (MIR) with an average output power of up to 5 W, an optical system for the signal and excitation beam, and a source for the excitation signal. The module will be a subcomponent of the DUV KrF laser lithography system commercialized by Gigaphoton, but can also be used as the basis for user-modified versions of the MIR pulse systems developed by the Hilase Center for biomedical and industrial applications.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

20501 - Materials engineering

Projekt

<a href="/cs/project/TM01000033" target="_blank" >TM01000033: Vývoj DUV laseru pro polovodičovou litografii s pevnolátkovým předzesilovačem emitujícím na vlnové délce 1485 nm</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

TM01000033-V1

Číselná identifikace

TM01000033-V1

Technické parametry

Navržený funkční vzorek je schopen zesilování laserového záření v infračervené oblasti spektra s maximem v okolí vlnové délky 1.45 um. Pokrývá tak laserovou emisi ve spektrální oblasti, kde není dostupný žádný alternativní aktivní materiál vykazující zisk na bázi stimulované emise. Alternativou je využití nelineárně optických parametrických zesilovačů (OPA), které jsou ale technologicky komplikované a obvykle vykazují podstatně menší stabilitu výstupních parametrů. Předložené řešení je založeno na Cr4+:YAG laserovém zesilovači buzeném nanosekundovým Yb:YAG laserem. S uvedenou technologií bylo dosaženo zisku na jeden průchod laserovou tyčí 1,1, což umožňuje při využití geometrie regenerativního zesilovače dosažení požadovaného zisku 5 a energie výstupních pulsů v oblasti stovek µJ.

Ekonomické parametry

Předmětný modul bude subkomponentou DUV KrF laserového systému pro litografii komercializovaného firmou Gigaphoton (viz Common proposal). Dle časového plánu firmy Gigaphoton Inc. bude modul vyvinutý během projektu postupně implementován do prototypů KrF litografického systému s pevnolátkovým front-endem, masová produkce se předpokládá od roku 2023. Exkluzivním dodavatelem modulu pro Gigaphoton bude Crytur s.r.o. Alternativně bude modul základem uživatelsky modifikovaných verzí MIR pulsních systémů vyvíjených v rámci komerčních aktivit centrem Hilase pro vědecké, biomedicínské a průmyslové aplikace. Modul bude také dle předpokladu zařazen od let 2022/2023 do nabídky firmy Crytur jako samostatný funkční modul kavity MIR laseru. Hlavním přínosem je zvýšení obratu firmy a budoucí konkurenceschopnosti. Budoucí komerční využití je v oblasti polovodičového průmyslu a biomedicíny.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

25296558

Název vlastníka

CRYTUR, spol. s r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—