Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26218445%3A_____%2F10%3A%230000001" target="_blank" >RIV/26218445:_____/10:#0000001 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení
Popis výsledku v původním jazyce
Tepelný uzel v zařízeních pro atmosférické a LPCVD procesy ve výrobě polovodičů je tvořen válcovitou, horizontálně uloženou topnou kazetou, měřicími trasami pro kontrolu teploty a řídícím procesorem. Další technické zdokonalení tohoto uzlu je podmíněno výzkumem, jehož výstupem je matematický model teplotního pole topné kazety a z něj odvozeným algoritmem řízení.
Název v anglickém jazyce
Research on mathematical model of thermal node and its control algorithm
Popis výsledku anglicky
Thermal node in equipment for atmospheric and LPCVD processes in semiconductor manufacturing consists of a cylindrical, horizontally stored heating cartridge, measuring lines for temperature control and the control processor. Further technical improvements of this node is based on a research, whose output is a mathematical model of temperature field heating cartridges and derivative control algorithm.
Klasifikace
Druh
Z<sub>tech</sub> - Ověřená technologie
CEP obor
JP - Průmyslové procesy a zpracování
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FI-IM4%2F165" target="_blank" >FI-IM4/165: Výzkum, vývoj a zavedení výroby inovovaných provedení tepelného a chemického uzlu v pecích pro atmosférické a LPCVD procesy HI-TECH polovodičových výrob fotovoltaických panelů.</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
SV_FUR_LPCVD
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Byla vytvořena 2 pracovní místa ? vývoj SW a HW řídících systémů. V 2011 vytvoření 1 místa pro budované pracoviště kalibrační laboratoře pro termočlánky. Zavedení výroby tepelně izolačních prvků dle návrhu a dokumentace od SVCS v kooperaci v rámci ČR
Ekonomické parametry
Finanční efekt za 2009 a 2010 činí navýšení obratu, v segmentu výrobků a služeb s nimi spojených o 1,8 mil. Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
26218445
Název vlastníka
SVCS s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—