Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000013" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000013 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze

Popis výsledku v původním jazyce

Společnost SVCS vyrábí zákaznické typy diffúzních vysokoteplotních reaktorů, které dodává včetně "know-how" potřebných pro jejich provoz a získání požadovaných výsledků. Reaktory se liší velikostí (průměr křemenné trubky, délka "flat" zóny, systémem odsávání zplodin), ale rozdíl je i ve velikosti a počtu zpracovávaných Si substrátů. Na základě modelovacích experimentů (SW Flow Simulation a CFD ACE+) a ověřením testovacích procesů ve dvou různých konfiguracích reaktorů fosforové difúze vznikla metodika pro přepočet nastavení průtoků jednotlivých plynných složek vpouštěných do daného typu reaktoru.

Název v anglickém jazyce

General methodology of the input gas flow rate recalculation for various types of SVCS reactors for phosphorus diffusion and according to the number and size of Si substrates

Popis výsledku anglicky

SVCS company produces customer designed high temperature furnaces for phosphorus diffusion which are delivered including know-how for the standard furnace operation to achieve required results. Reactor designs differ in size (quartz tube diameter, lengthof the flat zone and exhaust system) but customer difference consists also in the number and size of processed Si substrates. On the basis of numerical modeling by SW Flow SImulation and CFD-ACE+ softwares as well as by the process verification using 2various reactor configurations new methodology for the recalculation of individual gas components entering the reactor has been created.

Druh

N_metC - Metodiky certifikované oprávněným orgánem

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modifikace jednotlivých technologických zařízení dávkových procesů pro zvýšení výtěžnosti výroby vysoce účinných křemíkových solárních článků s využitím modelovacích softwarů technologických procesů CFD-ACE+ a Flow Simulation.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

SVOMPPPFD_SOL_01

Číslo předpisu

A-2012-12-13-SVOMPPPFD_SOL_01

Technické parametry

Přepočtová metodika vycházející jak z modelovacích, tak experimentálně ověřených výsledků markantně zrychluje odladění požadovaných procesů na nových zákaznických typech reaktorů.

Ekonomické parametry

Metodika urychluje odladění nainstalovaných vysokoteplotních reaktorů u jednotlivých zákazníků, čímž zkracuje celkovou dobu instalace a tím zároveň zvyšuje kredit společnosti SVCS.

Označení certifikačního orgánu

SVCS Process Innovation s.r.o., Na Potůčkách 163, Valašské Meziříčí 757 01

Datum certifikace

—

Způsoby využití výsledku

C - Výsledek je využíván bez omezení okruhu uživatelů