Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000018" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000018 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)

Popis výsledku v původním jazyce

Vytvoření prototypu reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadované tloušťky vrstvy SiO2 po ploše jednotlivých desek v celé zpracovávané dávce.

Název v anglickém jazyce

A reactor prototype for dry and wet oxidation of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor)

Popis výsledku anglicky

Evaluation of a reactor prototype for dry and wet oxidation of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor) to achieve uniformity of required thickness of silicon layer at wafers surface in whole dose.

Druh

G_prot - Prototyp

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modifikace jednotlivých technologických zařízení dávkových procesů pro zvýšení výtěžnosti výroby vysoce účinných křemíkových solárních článků s využitím modelovacích softwarů technologických procesů CFD-ACE+ a Flow Simulation.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

SVROX_01

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Ověření možnosti jednotného designu pecí pro suchou a vlhkou oxidaci Si desek. Ověření kvality (pasivačních vlastností pro n-typové i p-typové povrchy) a rychlosti růstu oxidových vrstev v závislosti na teplotě, úrovni povrchové koncentrace dopantů a ředění koncentrace vodní páry v reaktoru přidáním dusíku a kyslíku. Ověření vlivu růstových parametrů SiO2 vrstvy na výsledné optické a elektrické vlastnosti testovacích solárních článků. Ověření použití designu dvojvrstvé ARC pasivační vrstvy s tloušťkou 25 až 30 nm (ve spojení s další tenkou vrstvou na bázi Si3N4 s tloušťkou 40 až 50 nm) v procesu výroby solárních článků s vysokou účinností.

Ekonomické parametry

V případě implementace ověřené technolopie pro vysokoteplotní suchou a mokrou oxidaci na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 7% nárůst prodeje v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

27711170

Název vlastníka

SVCS Process Innovation s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—