Prototyp řídícího systému pro vertikální PECVD pec

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000029" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000029 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Prototyp řídícího systému pro vertikální PECVD pec
Popis výsledku v původním jazyce
Byl vyvinut řídící systém pro řízení a kontrolu technologického procesu ve vertikálním PECVD reaktoru. V rámci technologického procesu systém řídí regulaci teploty, průtoky plynů v jednotlivých technologických krocích, zapálení a hoření plazmatického výboje a úřoveň vakua.
Název v anglickém jazyce
A prototype of control system for vertical PECVD furnace
Popis výsledku anglicky
A prototype of control system of technological processes in vertical PECVD reactor was developed. The system is able to control process temperature, gas flow, plasma ignition and vacuum control in each technological step during deposition.

Projekt
<a href="/cs/project/FR-TI1%2F619" target="_blank" >FR-TI1/619: *Modifikace technologií depozice pasivačních a antireflexních vrstev metodou PECVD pro podmínky vertikalního reaktoru</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
SV-Con-PECVD-2012
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Řídící systém umožňuje regulovat technologický proces v rámci následujících parametrů. Řízení teploty - překmit 0,2°C, čas stabilizace (pro ?T < 0,5 ?C) T = 4 min, procesní teplotní stabilita ?T ? 0,1 ?C. Řízení průtoků plynů v každém technologickém kroku ? 1ml/min-1000l/min. Zapálení výboje a řízení hoření plazmy ? kontinuální i střídavý výboj, automatická regulace odraženého výkonu. Řízení vakua v jednotkách mTorr. Výsledek byl vyzkoušen a ověřen pro zavedení do výroby. Výsledek je využíván pouze příjemcem dle smlouvy O Využití výsledků výzkumu a vývoje č. 2012/FR-TI1/619 ze dne 28.12.2012 uzavřené s MPO. Kontaktní osoba Bc. Zuzana Andrisová, 775 757 201, zandrisova@svcs.cz
Ekonomické parametry
Řídící systém je nedílnou součástí vyvinuté vertikální PECVD pece. Jeho samostatná komercionalizace se v současné době nepředpokládá.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
27711170
Název vlastníka
SVCS Process Innovation s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)