Prototyp Minimal Fab ALD zařízení

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F22%3AN0000001" target="_blank" >RIV/27711170:_____/22:N0000001 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Prototyp Minimal Fab ALD zařízení
Popis výsledku v původním jazyce
V rámci řešení projektu TAČR byl vyvinut prototyp Minimal Fab ALD zařízení pro depozice tenkých vrstev Al2O3 na Si substráty o průměru 12,5 mm.
Název v anglickém jazyce
Minimal Fab ALD tool prototype
Popis výsledku anglicky
Prototype of Minimal Fab ALD tool for deposition of thin aluminium oxide films was developed in the frame of TACR project.

Projekt
<a href="/cs/project/TM01000039" target="_blank" >TM01000039: Minimal Fab design systému depozice po atomárních vrstvách</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu
PT01/SVCS/2022
Číselná identifikace
PT01/SVCS/2022
Technické parametry
Velikost substrátu: ½“ (12,5 mm) Maximální teplota substrátu: 450 °C Maximální zdvih držáku vzorků: 42 mm Design s přírubami pro připojení in-situ elipsometru Design s možností instalace a využití mikrovlnné surfatronové, nebo induktivně vázané plazmatické komory pro PE-ALD procesy
Ekonomické parametry
Laboratorní prototyp nezbytný pro další aplikovaný výzkum a finální komercionalizaci výsledků projektu.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
27711170
Název vlastníka
SVCS Process Innovation s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Popis výsledku