Study of Influence of Fluorocarbons in Argon - Oxygen Plasma
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F99%3A00000107" target="_blank" >RIV/44555601:13430/99:00000107 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of Influence of Fluorocarbons in Argon - Oxygen Plasma
Popis výsledku v původním jazyce
The aim of the present work is to study the decomposition of the polytetrafluoroethylene and the role in this way created atomic fluorine and fluorocarbon radicals on the behaviour of the argon plasma parameters. Mass spectrometry was used for qualitative chemical analysis of the effluents. The results of mass spectrometric measurements show that the products of decomposition of teflon are species like fluorocarbon radicals ( CF3, CF2, CF) and atomic fluorine F. A comparison of the results obtained by means of the mass spectroscopy and by means of the optical emission spectroscopy helps us to understand of the reaction mechanism.
Název v anglickém jazyce
Study of Influence of Fluorocarbons in Argon - Oxygen Plasma
Popis výsledku anglicky
The aim of the present work is to study the decomposition of the polytetrafluoroethylene and the role in this way created atomic fluorine and fluorocarbon radicals on the behaviour of the argon plasma parameters. Mass spectrometry was used for qualitative chemical analysis of the effluents. The results of mass spectrometric measurements show that the products of decomposition of teflon are species like fluorocarbon radicals ( CF3, CF2, CF) and atomic fluorine F. A comparison of the results obtained by means of the mass spectroscopy and by means of the optical emission spectroscopy helps us to understand of the reaction mechanism.
Klasifikace
Druh
A - Audiovizuální tvorba
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
1999
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
ISBN
—
Místo vydání
Gent
Název nakladatele resp. objednatele
Universiteit Gent
Verze
—
Identifikační číslo nosiče
—