Numerical study of plasma fluctuations and their influence upon probe characteristics

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F01%3A24210026" target="_blank" >RIV/46747885:24210/01:24210026 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Numerical study of plasma fluctuations and their influence upon probe characteristics

Popis výsledku v původním jazyce

Rf or pulsed discharges have attracted a growing interest as a tool for plasma etching and deposition processes. Measurement of current-to-voltage characteristic using a small metallic electrode (Langmuire probe) immersed into the low temperature plasmaenables to determine the most important parameters of the plasma like plasma potential, density and temperature of electrons or electron energy distribution function. Fluctuations of plasma parameters lead to distortion of plasma characteristic. The question how these fluctuations influence errors of computed plasma parameters as been so far solved for special forms of fluctuations, leading to explicit mathematical formulas. To overcome these limitations we developed a code, written in Matlab, treating the problem on purely numerical basis. In contrast to previously published papers numeric access enables to investigate the influence of fluctuations of arbitrary shapes, amplitudes and correlations.

Název v anglickém jazyce

Numerical study of plasma fluctuations and their influence upon probe characteristics

Popis výsledku anglicky

Rf or pulsed discharges have attracted a growing interest as a tool for plasma etching and deposition processes. Measurement of current-to-voltage characteristic using a small metallic electrode (Langmuire probe) immersed into the low temperature plasmaenables to determine the most important parameters of the plasma like plasma potential, density and temperature of electrons or electron energy distribution function. Fluctuations of plasma parameters lead to distortion of plasma characteristic. The question how these fluctuations influence errors of computed plasma parameters as been so far solved for special forms of fluctuations, leading to explicit mathematical formulas. To overcome these limitations we developed a code, written in Matlab, treating the problem on purely numerical basis. In contrast to previously published papers numeric access enables to investigate the influence of fluctuations of arbitrary shapes, amplitudes and correlations.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Konference MATLAB 2001

ISBN

80-7080-446-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

23

Název nakladatele

HUMUSOFT Praha

Místo vydání

Praha, ČR

Místo konání akce

Praha, ČR

Datum konání akce

1. 1. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—