Návrh elektricky vyhřívané jednotky pro řízené vypařování prekurzoru pro PE CVD zařízení.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0108" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0108 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/46747885:24210/07:@GKMT023
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
The design of electrically heated unit for controlled precursor evaporation for PE CVD device.
Popis výsledku v původním jazyce
The aim of this work is design and realisation electrically heated unit for controlled evaporation for PECVD device. The work contains design description of the evaporation unit and its realisation. Experimental measurement of its characteristics has been conducted in PECVD device to make possible its application in laboratory conditions.
Název v anglickém jazyce
The design of electrically heated unit for controlled precursor evaporation for PE CVD device.
Popis výsledku anglicky
The aim of this work is design and realisation electrically heated unit for controlled evaporation for PECVD device. The work contains design description of the evaporation unit and its realisation. Experimental measurement of its characteristics has been conducted in PECVD device to make possible its application in laboratory conditions.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JP - Průmyslové procesy a zpracování
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA202%2F05%2F2242" target="_blank" >GA202/05/2242: Studium nových nízkoteplotních plazmatických zdrojů pracujících za atmosférického tlaku z hlediska jejich využití pro depozice tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
International Student Conference of Department of Material Science
ISBN
978-80-7372-255-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
28-29
Název nakladatele
Technical University of Liberec
Místo vydání
Liberec
Místo konání akce
Liberec
Datum konání akce
9. 10. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—