Příprava vrstev oxidu titanu metodou PECVD.

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0119" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0119 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Příprava vrstev oxidu titanu metodou PECVD.
Popis výsledku v původním jazyce
Vrstvy byly nanášeny v nízkotlakém planárním reaktor s kapacitně vázaným vysokofrekvenčním (RF) výbojem s frekvencí 13,56 MHz. Zdrojem titanu byly páry prekurzoru TitaniumIVisopropoxide, dále jen TTIP, vytvářené ve výparníku s kapalinovým ohřevem.
Název v anglickém jazyce
Preapration of titanium dioxide layers by PECVD.
Popis výsledku anglicky
Layers were deposited in low presssure planar reactor with capacity bond radiofrequency discharge wizh frequency 13,56 MHz. Source of titanium was vapours of precursor TitaniumIVisopropoxide(TTIP),created at evaporator with liquid heating. Layers were made at various deposition conditioons. The effects of deposition temperture, substrate bias, discharge input power, processibg pressure and processing atmosphere composition were investigated. To evaluate plasma discharge effect were performed termal depositions without plasma using. Mechanical properties, photocatylytic properties, surface morfology, layer structure, layer composition and photoeletric properties were evaluated for selected layers. Hydrophility and its change at UV radiation acting wereevaluated as well.

Projekt
<a href="/cs/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Výzkumné centrum pro nanopovrchové inženýrství</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
KRÝSA, J. (ed.). Nanomateriály a fotokatalýza : Sborník příspěvků - 1. seminář výzkumného centra NANOPIN.
ISBN
978-80-7080-005-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
27-28
Název nakladatele
VŠCHT
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
9. 5. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)