The influence of CH4/N2 Gas ratio on the structure and chemical composition of Cr(C, N) coatings deposited by CAD technology

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/46747885:24210/18:00006072 - isvavai.cz

Výsledek na webu

http://Energy

DOI - Digital Object Identifier

10.21062/ujep/201.2018/a/1213-2489/MT/18/6/917

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

The influence of CH4/N2 Gas ratio on the structure and chemical composition of Cr(C, N) coatings deposited by CAD technology

Popis výsledku v původním jazyce

This article presents the study of the influence of the bias voltage and CH4/N2 gas ratio on the structure and chemical composition of Cr(C,N) coatings. The coatings were deposited by cathodic arc evaporation of pure Cr (99.99 %) cathode under an atmosphere of a mixture of CH4 and N2 gasses at the low deposition temperature of 300 °C. The ratio of reactive gasses was changed from 0 to 100 %. Energy-dispersive spectroscopy showed a linear dependence of resulting C/N ratio on the process gas ratio. The roughness of layers prepared from a mixture of process gasses is higher compared to pure gasses.

Název v anglickém jazyce

The influence of CH4/N2 Gas ratio on the structure and chemical composition of Cr(C, N) coatings deposited by CAD technology

Popis výsledku anglicky

This article presents the study of the influence of the bias voltage and CH4/N2 gas ratio on the structure and chemical composition of Cr(C,N) coatings. The coatings were deposited by cathodic arc evaporation of pure Cr (99.99 %) cathode under an atmosphere of a mixture of CH4 and N2 gasses at the low deposition temperature of 300 °C. The ratio of reactive gasses was changed from 0 to 100 %. Energy-dispersive spectroscopy showed a linear dependence of resulting C/N ratio on the process gas ratio. The roughness of layers prepared from a mixture of process gasses is higher compared to pure gasses.

Druh

J_SC - Článek v periodiku v databázi SCOPUS

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

EG15_019/0004853: Dynamické víceosé elektrohydraulické rekuperační jednotky

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Manufacturing Technology

ISSN

1213-2489

e-ISSN

—

Svazek periodika

18

Číslo periodika v rámci svazku

6

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

917-922

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85059328989