Interferometrický systém pro souřadnicové odměřování
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F16%3AN0000002" target="_blank" >RIV/47677023:_____/16:N0000002 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081731:_____/16:00467060
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Interferometrický systém pro souřadnicové odměřování
Popis výsledku v původním jazyce
Předmětem výsledku je interferometrický systém pro velmi přesná odměřování polohy v souřadnicových systémech. Systém nalezne uplatnění především v nanotechnologiích, pro nanodiagnostiku, litografii, metrologickou elektronovou, nebo sondovou mikroskopii, ap. Základem je dvousvazkový interferometr pro měření v jedné ose odrazem od rovinného zrcadla. Interferometr využívá plně křemennou optiku s velmi dobrou teplotní stabilitou a spojováním prvků na optický kontakt. Řešení interferometrické jednotky je kompaktní s optovláknovým rozvodem světla a integrovaným detekčním systémem využívajícím optického homodynního principu. Použití více jednotek pro více měřicích os je umožněno výkonovou rezervou laseru a optovláknovým děličem s příslušným počtem výstupů, vše využívající optických vláken zachovávajících polarizaci. Zdrojem záření je kompaktní stabilizovaný Nd:YAG laser se zdvojnásobením vlnové délky. Systém disponuje kompenzací vlivu indexu lomu vzduchu nepřímou metodou vycházející z měření základních parametrů atmosféry.
Název v anglickém jazyce
Interferometric system for coordinate measurement
Popis výsledku anglicky
This result is represented by an interferometric system for highly precise coordinate displacement measurements. The system will find its applications primarily in nnaotechnologies, for nanodiagnostics, lithography, metrology electron or local probe microscopy, etc. The basis is a two-beam interferometer for measurement in one axis and through reflection from plane mirror. The interferometer uses fully quartz optics with a very good thermal stability and joining of the components by optical contacting. The design of the interferometric unit is a compact one with fiber-optic light delivery and integrated optical detection system based on a homodyne principle. The use of more units for more measuring axes is possible thanks to substantial power of the laser and fiber-optic splitter with adequate number of outputs, all using polarization maintaining fibers. The light source is a compact Nd:YAG laser with frequency doubling. The system is equipped with compensation of the influence of refractive index of air through indirect method based on measurement of the parameters of atmosphere.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TA02010711" target="_blank" >TA02010711: Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2016
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
DP0001-2016-FV01
Číselná identifikace
APL-2016-03
Technické parametry
Pracovní vlnová délka: 532 nm, relativní stabilita vlnové délky zdroje: 10-8, rozlišení 130 pm, měření odrazem od: rovinného zrcadla, počet měřicích os: 1 až 6, kompenzace vlivu indexu lomu vzduchu: ano
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu a využívaný příjemcem. Kontakt: prof. Ing. Josef Lazar, Dr., joe@isibrno.cz
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky Akademie věd ČR, v.v.i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—