Fabrication and optimalization of dielectric plasmonic metalenses

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F20%3AN0000003" target="_blank" >RIV/47677023:_____/20:N0000003 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Fabrication and optimalization of dielectric plasmonic metalenses

Popis výsledku v původním jazyce

An optical metasurface is composed of building blocks – nanostructures – which allow for control of the transmitted light with high spatial resolution and replication of the functionalities held by traditional optical components simultaneous to significant miniaturization of their absolute thickness. Plasmonic optical metasurfaces composed of metallic building blocks have limited possibilities in steering the phase of the light, which is transmitted through them and also, they suffer from losses caused by light absorption. Dielectric optical metasurfaces have no such limitations and generally show higher effectivity than their plasmonic alternatives – however, the fabrication of the dielectric building blocks is often challenging. To fabricate the dielectric optical metasurface with the functionality of a focusing lens, we first deposited the 550 nm thick layer of titanium dioxide on the transparent fused silica substrate using magnetron sputtering. This dielectric layer was subsequently transformed into the metasurface building blocks using the selective reactive ion etching through a chromium mask created with electron beam lithography.

Název v anglickém jazyce

Fabrication and optimalization of dielectric plasmonic metalenses

Popis výsledku anglicky

An optical metasurface is composed of building blocks – nanostructures – which allow for control of the transmitted light with high spatial resolution and replication of the functionalities held by traditional optical components simultaneous to significant miniaturization of their absolute thickness. Plasmonic optical metasurfaces composed of metallic building blocks have limited possibilities in steering the phase of the light, which is transmitted through them and also, they suffer from losses caused by light absorption. Dielectric optical metasurfaces have no such limitations and generally show higher effectivity than their plasmonic alternatives – however, the fabrication of the dielectric building blocks is often challenging. To fabricate the dielectric optical metasurface with the functionality of a focusing lens, we first deposited the 550 nm thick layer of titanium dioxide on the transparent fused silica substrate using magnetron sputtering. This dielectric layer was subsequently transformed into the metasurface building blocks using the selective reactive ion etching through a chromium mask created with electron beam lithography.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

MEO_NCK-DP07_2020_GFUNK01

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Fokusační čočka jako metapovrch byla navržena pro vlnovou délku 650 nm. Realizované stavební bloky tvoří válce z TiO2 o výšce 550 nm a průměru 100 nm a 175 nm. Tyto bloky tvoří alternující periodickou strukturu v podobě koncentrických mezikruží ve funkci spojné čočky.

Ekonomické parametry

Výsledek bude sloužit jako základ návrhového a technologického postupu pro vývoj konkrétních dielektrických metapovrchů, které budou komerčně využívány jako 2D optické komponenty společností Meopta-optika s.r.o.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

47677023

Název vlastníka

Meopta - optika, s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—