Technologie výroby antireflexní vrstvy na substrátu CaF2 s optickými parametry: úhel dopadu AOI 0° - 0.5°, odrazivost R < 0.25% pro 266 nm
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F20%3AN0000021" target="_blank" >RIV/47677023:_____/20:N0000021 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Technologie výroby antireflexní vrstvy na substrátu CaF2 s optickými parametry: úhel dopadu AOI 0° - 0.5°, odrazivost R < 0.25% pro 266 nm
Popis výsledku v původním jazyce
Technologie výroby optických vrstev pomocí reaktivního magnetronového naprašování za asistence plasmatu. Depozice vysokoindexového dielektrického materiálu HfO2 v kombinaci s nízkoindexovým SiO2 splňující požadavky na odrazivost R <0,25 % na λ = 266 nm pro úhly dopadu <0°, 5°> na krystalickém materiálu CaF2 v Müllerově orientaci <1, 0, 0> a totožných rovin.
Název v anglickém jazyce
Technology of fabrication of antireflection coating on CaF2 substrate with following optical parameters: angle of incidence 0°, reflectivity R < 0,25 % at 266 nm
Popis výsledku anglicky
Technology of fabrication of optical layers using plasma assisted reactive magnetron sputtering. Deposition of high-index dielectric material as HfO2 combined with low-index SiO2 fulfill requirements of reflectivity R<0,25 % at λ=266 nm for angle of incidence <0°, 5°> on the crystallic substrate of CaF2 <1, 0, 0> and identical crystallographic planes.
Klasifikace
Druh
Z<sub>tech</sub> - Ověřená technologie
CEP obor
—
OECD FORD obor
20506 - Coating and films
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TH03020196" target="_blank" >TH03020196: Pokročilé metody přípravy tenkovrstvých strukturovaných systémů pro optické aplikace</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
MEO_DP0018_2020_OT02
Číselná identifikace
OT
Technické parametry
R <0,25 % na λ = 266 nm pro úhly dopadu <0°, 5°> na krystalickém materiálu CaF2 v Müllerově orientaci <1, 0, 0>
Ekonomické parametry
Bude použito ve vlastní výrobě.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
47677023
Název vlastníka
Meopta - optika, s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—