DMD wavefront sensor for laser beam characterization

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F21%3AN0000026" target="_blank" >RIV/47677023:_____/21:N0000026 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
DMD wavefront sensor for laser beam characterization
Popis výsledku v původním jazyce
A functional sample of custom DMD electronics for Hartmann like wavefront sensor has been modified to measure mode structure of the laser beam essential for DUV lithography where excimer lasers are used.
Název v anglickém jazyce
DMD wavefront sensor for laser beam characterization
Popis výsledku anglicky
A functional sample of custom DMD electronics for Hartmann like wavefront sensor has been modified to measure mode structure of the laser beam essential for DUV lithography where excimer lasers are used.

Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu
MEO_NCK-DP09_2021_GFUNK3
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek TN01000008/5-V11 je modifikací funkčního TN01000008/05-V004 (Optimální DMD senzor vlnoplochy pro justáž optických systémů) z roku 2020. Nutné změny umožňují úplnou charakterizaci částečně prostorově koherentních laserových svazků, které jsou zásadní pro aplikace DUV litografie využívající excimerové lasery s nestabilním rezonátorem. DMD senzor vlnoplochy na bázi Hartmanova senzoru je schopný provádět rekonstrukci koherenční matice v diskrétních bodech.
Ekonomické parametry
Zařízení je používáno pro výzkumné a výukové účely.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
47677023
Název vlastníka
Meopta - optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)