Dependence of structure and properties of hard nanocrystalline conductive films MBCN (M = Ti, Zr, Hf) on the choice of metal element

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F15%3A43925301" target="_blank" >RIV/49777513:23520/15:43925301 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.04.023" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.04.023</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.04.023" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2015.04.023</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Dependence of structure and properties of hard nanocrystalline conductive films MBCN (M = Ti, Zr, Hf) on the choice of metal element

Popis výsledku v původním jazyce

The paper deals with hard nanocrystalline conductive films MBCN (M = Ti, Zr, Hf) prepared by pulsed dc reactive magnetron sputtering. We focus on the effect of the choice of metal element on materials structure and properties. We find that the transitionfrom Ti through Zr to Hf leads to an increasing preference to form stable MBxCyN1-x-y solid solutions. These results are compared with and explained by ab-initio calculations. At a low N content the transition from X-ray amorphous TiBCN to truly nanocrystalline or even nanocomposite ZrBCN and HfBCN leads to increased hardness, increased H/E ratio and increased elastic recovery. At a medium N content the transition from TiBCN (which is homogenous) to ZrBCN and HfBCN (where small conductive nanocrystalsare separated by an insulating amorphous phase) dramatically increases the electrical resistivity.

Název v anglickém jazyce

Dependence of structure and properties of hard nanocrystalline conductive films MBCN (M = Ti, Zr, Hf) on the choice of metal element

Popis výsledku anglicky

The paper deals with hard nanocrystalline conductive films MBCN (M = Ti, Zr, Hf) prepared by pulsed dc reactive magnetron sputtering. We focus on the effect of the choice of metal element on materials structure and properties. We find that the transitionfrom Ti through Zr to Hf leads to an increasing preference to form stable MBxCyN1-x-y solid solutions. These results are compared with and explained by ab-initio calculations. At a low N content the transition from X-ray amorphous TiBCN to truly nanocrystalline or even nanocomposite ZrBCN and HfBCN leads to increased hardness, increased H/E ratio and increased elastic recovery. At a medium N content the transition from TiBCN (which is homogenous) to ZrBCN and HfBCN (where small conductive nanocrystalsare separated by an insulating amorphous phase) dramatically increases the electrical resistivity.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GJ15-00859Y" target="_blank" >GJ15-00859Y: Design nových funkčních materiálů, a cest pro jejich přípravu atom po atomu, pomocí pokročilého počítačového modelování</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Svazek periodika

2015

Číslo periodika v rámci svazku

586

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

22-27

Kód UT WoS článku

000353984000004

EID výsledku v databázi Scopus

—