Nanocolumnar growth of sputtered ZnO thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F15%3A43926332" target="_blank" >RIV/49777513:23640/15:43926332 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.04.009" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.04.009</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.04.009" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2015.04.009</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Nanocolumnar growth of sputtered ZnO thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Sequential sputtering technology was developed for the formation of transparent and conductive very thin films of ZnO doped by Al (AZO) with a nanocolumnar polycrystalline structure. The characterization of their properties, including structural (scanning electron microscopy, X-ray diffractometry), electrical (Hall measurements) and optical (visible spectrometry, ellipsometry), was performed. AZO thin films with thicknesses of approximately 100 nm were prepared with a pronounced nanocolumnar and (002) textured crystalline structure, sufficient low resistivity (ALMOST EQUAL TO 10MINUS SIGN 1 ? cm), satisfactory optical transparency (ALMOST EQUAL TO 90%) and adequate refractive index (ALMOST EQUAL TO 2.0) for future applications in biochemical sensors.

Název v anglickém jazyce

Nanocolumnar growth of sputtered ZnO thin films

Popis výsledku anglicky

Sequential sputtering technology was developed for the formation of transparent and conductive very thin films of ZnO doped by Al (AZO) with a nanocolumnar polycrystalline structure. The characterization of their properties, including structural (scanning electron microscopy, X-ray diffractometry), electrical (Hall measurements) and optical (visible spectrometry, ellipsometry), was performed. AZO thin films with thicknesses of approximately 100 nm were prepared with a pronounced nanocolumnar and (002) textured crystalline structure, sufficient low resistivity (ALMOST EQUAL TO 10MINUS SIGN 1 ? cm), satisfactory optical transparency (ALMOST EQUAL TO 90%) and adequate refractive index (ALMOST EQUAL TO 2.0) for future applications in biochemical sensors.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Svazek periodika

591

Číslo periodika v rámci svazku

30. září 2015

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

230-236

Kód UT WoS článku

000362008000015

EID výsledku v databázi Scopus

—