Measuring System for the Langmuir Probe Diagnostics of the Plasma

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F01%3A00003040" target="_blank" >RIV/60076658:12410/01:00003040 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Measuring System for the Langmuir Probe Diagnostics of the Plasma

Popis výsledku v původním jazyce

The paper deals with construction of the high - speed measuring system for the "insitu" Langmuir Probe diagnostics of the plasma. The system is dedicated for special applications in the plasma - chemical deposition processes.

Název v anglickém jazyce

Measuring System for the Langmuir Probe Diagnostics of the Plasma

Popis výsledku anglicky

The paper deals with construction of the high - speed measuring system for the "insitu" Langmuir Probe diagnostics of the plasma. The system is dedicated for special applications in the plasma - chemical deposition processes.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

CO-MAT-TECH 2001

ISBN

80-227-1591-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

11-16

Název nakladatele

Slovenská technická univerzita v Bratislavě

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Materialovotechnologická fakulta v Trnave

Datum konání akce

25. 8. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—