Numerical Methods Concerning Optical Diagnostics of Low Temperature Plasmas

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F01%3A00003046" target="_blank" >RIV/60076658:12410/01:00003046 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Numerical Methods Concerning Optical Diagnostics of Low Temperature Plasmas

Popis výsledku v původním jazyce

The study of the working gas flow and its interaction with the substrate is an important part of diagnostics of plasma in the plasma-chemical reactors. Good knowledge of the parameters of plasma is necessary to understand to processes that take place atplasma-chemical deposition of thin films. We have used the optical diagnostics by holographic interferometer for this purpose. The boundary between subsonic and supersonic flowing gas has been determined by means of interferograms. The distribution of the phase shift into the observed object compared to the state without flowing gas has been determined from the interferogram as well. That gives the possibility of another work purposeful obtaining distribution of mass density into the flowing gas and temperature or pressure, respectively. Studium proudění pracovního plynu a jeho interakce se substrátem jsou důležité části diagnostiky plazmatu v plasma-chemických reaktorech. Dobrá znalost parametrů plazmatu je nutná k pochopení procesů, k

Název v anglickém jazyce

Numerical Methods Concerning Optical Diagnostics of Low Temperature Plasmas

Popis výsledku anglicky

The study of the working gas flow and its interaction with the substrate is an important part of diagnostics of plasma in the plasma-chemical reactors. Good knowledge of the parameters of plasma is necessary to understand to processes that take place atplasma-chemical deposition of thin films. We have used the optical diagnostics by holographic interferometer for this purpose. The boundary between subsonic and supersonic flowing gas has been determined by means of interferograms. The distribution of the phase shift into the observed object compared to the state without flowing gas has been determined from the interferogram as well. That gives the possibility of another work purposeful obtaining distribution of mass density into the flowing gas and temperature or pressure, respectively. Studium proudění pracovního plynu a jeho interakce se substrátem jsou důležité části diagnostiky plazmatu v plasma-chemických reaktorech. Dobrá znalost parametrů plazmatu je nutná k pochopení procesů, k

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

WDS'01

ISBN

80-85863-73-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

385-389

Název nakladatele

Matfyzpress

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

12. 6. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—