Mapping of the internal plasma parameters of an unbalanced magnetron DC discharge

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F03%3A00004578" target="_blank" >RIV/60076658:12410/03:00004578 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mapping of the internal plasma parameters of an unbalanced magnetron DC discharge

Popis výsledku v původním jazyce

Langmuir probe diagnostics using thin cold cylindrical probe has been performed in r-z plane of a DC unbalanced magnetron discharge in argon at 0.5 and 2.5Pa. Important plasma parameters as the elektron density, plasma and floating potential have been extracted from the measured characteristics and its second derivative. We present typical probe characteristics at selected locations of the discharge as well as komplete spatial distributions of extracted plasma parameters. Comparison with results of recent PIC/MCC simulation is discussed.

Název v anglickém jazyce

Mapping of the internal plasma parameters of an unbalanced magnetron DC discharge

Popis výsledku anglicky

Langmuir probe diagnostics using thin cold cylindrical probe has been performed in r-z plane of a DC unbalanced magnetron discharge in argon at 0.5 and 2.5Pa. Important plasma parameters as the elektron density, plasma and floating potential have been extracted from the measured characteristics and its second derivative. We present typical probe characteristics at selected locations of the discharge as well as komplete spatial distributions of extracted plasma parameters. Comparison with results of recent PIC/MCC simulation is discussed.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

In: ISPC 16I, Full-Papers CD ( f. 523)

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

104

Název nakladatele

University of Bari

Místo vydání

Bari

Místo konání akce

Taormina, Italy

Datum konání akce

22. 6. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—