Thermodynamics of Moist Air for Vacuum Technology
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60162694%3AG43__%2F21%3A00557653" target="_blank" >RIV/60162694:G43__/21:00557653 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://ecst.ecsdl.org/" target="_blank" >http://ecst.ecsdl.org/</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1149/10501.0299ecst" target="_blank" >10.1149/10501.0299ecst</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Thermodynamics of Moist Air for Vacuum Technology
Popis výsledku v původním jazyce
The paper is focused on the developing a predictive mathematical model for describing thermodynamic processes connected with the moist air depressurization in vacuum chambers. Equations of the mathematical description are based on principles of the energy and mass conservation, which are complemented by the moist air thermodynamics, the state behavior of water and vapor, including principles of the critical flow. The described problem has been solved using the MATLAB software. In the paper, two cases are applied and discussed: the vacuum drying and the specimen chamber of an environmental scanning electron microscope. The specific requirements are especially important for environmental scanning electron microscopes, where it is possible to observe samples, which contain water, in their natural condition. If the air pressure, temperature and humidity do not have suitable values, observed sample may be dried or damaged.
Název v anglickém jazyce
Thermodynamics of Moist Air for Vacuum Technology
Popis výsledku anglicky
The paper is focused on the developing a predictive mathematical model for describing thermodynamic processes connected with the moist air depressurization in vacuum chambers. Equations of the mathematical description are based on principles of the energy and mass conservation, which are complemented by the moist air thermodynamics, the state behavior of water and vapor, including principles of the critical flow. The described problem has been solved using the MATLAB software. In the paper, two cases are applied and discussed: the vacuum drying and the specimen chamber of an environmental scanning electron microscope. The specific requirements are especially important for environmental scanning electron microscopes, where it is possible to observe samples, which contain water, in their natural condition. If the air pressure, temperature and humidity do not have suitable values, observed sample may be dried or damaged.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
20303 - Thermodynamics
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
ECS Transactions
ISBN
—
ISSN
1938-6737
e-ISSN
1938-5862
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
299-307
Název nakladatele
IOP Publishing Ltd
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno, the Czech Republic
Datum konání akce
22. 8. 2021
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—