Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F04%3A00011541" target="_blank" >RIV/60461373:22310/04:00011541 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD

Popis výsledku v původním jazyce

Směsný niobát Bi2SrNb2O9 (SBN) představuje vhodný materiál pro přípravu pamětí typu FeRAM. Tato práce je věnována termodynamickým předpokladům depozice vrstev SBN metodou MOCVD. Byl proveden podrobný termodynamický rozbor systému Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar metodou minimalizace celkové Gibbsovy energie. Při výpočtu rovnovážného složení bylo uvažováno 37 plynných a 24 pevných látek. Jelikož neexistují potřebné experimentální údaje, byla termodynamická data pro směsné oxidy odhadnuta. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 400 - 800 oC, atmosférický a snížený tlak, pro různá počáteční složení plynné fáze. Na základě vypočtených výsledků je diskutovány relativní těkavost Bi, Sr a Nb a možnosti kontaminace připravovaných vrstev uhlíkem.

Název v anglickém jazyce

Thermodynamic prediction for MOCVD of Bi2SrNb2O9 layers

Popis výsledku anglicky

Strontium bismuth niobate, Bi2SrNb2O9 (SBN), represents a promising ferroectric material for manufacturing of non-volatile FeRAM. Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) is one of the most important preparation methods to realize high-density FeRAM structures on this material. This contribution addresses the thermodynamic aspects of the MOCVD growth of SBN layers. The thorough thermodynamic analysis of the Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar system was performed using the Gibbs energy minimization method. The gaseous phase consisting of 37 species and 24 solid substances were included into the calculation. Thermodynamic data for mixed oxides were estimated in some cases due to the lack of experimental values. The equilibrium composition of the above mentioned system was calculated for the temperature range of 400 - 800 oC, atmospheric and reduced pressures for a number of initial gas phase constitutions. The results of thermodynamic prediction are discussed in connection with the bismuth, stronti

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BJ - Termodynamika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník Vrstvy a povlaky 2004

ISBN

80-968337-8-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

167-171

Název nakladatele

Digital Graphic

Místo vydání

Trenčín

Místo konání akce

Rožnov pod Radhoštěm

Datum konání akce

7. 10. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—