Tlak nasycených par organokovových prekursorů
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F01%3A00004094" target="_blank" >RIV/60461373:22340/01:00004094 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Tlak nasycených par organokovových prekursorů
Popis výsledku v původním jazyce
Organokovové sloučeniny některých kovů (Ga, As, In, Al#) se používají pro přípravu sloučeninových polovodičů metodou MOVPE (Metal-Organic Vapour Phase Epitaxy). Při tomto procesu je nezbytná znalost tlaku nasycených par vstupujících organokovových sloučenin. Proto byla ve společném projektu s Oddělením polovodičů Fyzikálního ústavu AV ČR upravena statická aparatura na měření tlaku nasycených par těchto látek. Z důvodu vysoké reaktivity organokovových látek se vzdušným kyslíkem bylo nutné zabránit stykuměřených látek s atmosférou v každém kroku měření. Aparatura pracuje v rozsahu teplot -40°C až 200°C a v tlakovém rozmezí 0,1 až 1300 Pa (tlakoměr MKS). Pomocí dalšího diferenčního tlakoměru (Rosemount) lze provádět měření až do hodnot atmosférického tlaku.
Název v anglickém jazyce
Vapour Pressure of Metalo-Organic Precursors
Popis výsledku anglicky
Organometallic compounds containing Ga,As,In, Al are used as a precursors for MOVPE (Metal-Organic Vapour Phase Epitaxy). Vapor pressure of these compounds is very important for optimalization of MOVPE process. New version of an apparatus for vapor-pressure measurements was constructed in cooperation with Department od semiconductors of Institute od Physics of CAS. Measuring range of the apparatus is from -40°C to 200°C and from 0.1 to 1300 Pa (MKS capacitance differential pressure gauge). Additional differential pressure gauge (Rosemont) enables measurements up to atmospheric pressure. New contributions for estimation method on heat capacities of pure liquids.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Sborník příspěvků z konference Termodynamika 2001 (CD-ROM)
ISBN
80-86238-17-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
17
Strana od-do
94-110
Název nakladatele
Ústav fyzikální chemie-VŠCHT
Místo vydání
Praha, ČR
Místo konání akce
Brejlov, ČR
Datum konání akce
13. 9. 2001
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—