Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F12%3A43893870" target="_blank" >RIV/60461373:22340/12:43893870 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60461373:22310/12:43893870

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw

Popis výsledku v původním jazyce

Práce je věnována metodice měření rezistivity tenkých vrstev metodou van der Pauw (VDP) a to zejména důsledkům typických "vad" vzniklých nedůslednou přípravou a připojením vzorku nebo při neopatrné manipulaci s ním. Obecné důsledky typických vad jsme seproto rozhodli simulovat experimentálně, kdy byly uměle simulovány typické vady vzorků, počínaje nesymetrickým kontaktováním přes neizolované a vícečetné praskliny až po vliv jejich velikosti a polohy uvnitř vzorku. Jsou demonstrovány dopady těchto vad na posloupnost průběžně naměřených hodnot v jednom měřicím cyklu metody VDP a provedeno srovnání s charakteristickými hodnotami vzorků bezvadných.

Název v anglickém jazyce

The study of fundamental and qualitative impact of correctable defects in the thin layer measurement using the Van der Pauw method

Popis výsledku anglicky

The paper is devoted to the methodology of measurement of resistivity of thin films using van der Pauw technique - in particular to the consequences of typical "defects" that can appear in the samples. Therefore, we decided to simulate the consequences of such defects experimentally, when there were simulated on geometrically symmetric samples of thin Cu foil: these defects ranged from non-symmetric contacting, non-isolated numerous cracks to the influence of their size and position within the sample. The impact of these defects on the sequence of values measured in one measurement cycle of the VDP method is demonstrated, and a comparison with characteristic values of perfect samples is carried out.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Slaboproudý obzor

ISSN

0037-668X

e-ISSN

—

Svazek periodika

68

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

15-20

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—