Optical Emission Spectroscopy of CN x Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61388955%3A_____%2F01%3A54010234" target="_blank" >RIV/61388955:_____/01:54010234 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical Emission Spectroscopy of CN x Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.

Popis výsledku v původním jazyce

Thin CNx films were deposited by hybrid pulsed laser deposition system KrF excimer laser in combination with the additional radio-frequency discharge.

Název v anglickém jazyce

Optical Emission Spectroscopy of CN x Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.

Popis výsledku anglicky

Thin CNx films were deposited by hybrid pulsed laser deposition system KrF excimer laser in combination with the additional radio-frequency discharge.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA1010110" target="_blank" >IAA1010110: Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Svazek periodika

46

Číslo periodika v rámci svazku

11/12

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

371-373

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—