Chemické procesy iniciované nárazem elektronu v nanolitografické metodě FEBID a jejich popis pomocí teorie elektronového rozptylu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61388955%3A_____%2F18%3A00495137" target="_blank" >RIV/61388955:_____/18:00495137 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Chemické procesy iniciované nárazem elektronu v nanolitografické metodě FEBID a jejich popis pomocí teorie elektronového rozptylu

Popis výsledku v původním jazyce

Profesor Rudolf Zahradník společně s profesorem Jaroslavem Kouteckým vytvořili základ toho, co se dá nazvat „českou školou kvantové chemie“. Jejich pionýrské výpočty na mechanických kalkulačkách před více než 55 lety znamenaly počátek, po kterém jejich žáci a následovníci pokračovali v tvorbě kvantové chemie jako užitečného nástroje výzkumu v mnoha oblastech chemie. My chceme v tomto článku ukázat na jednu takovou oblast, a to na novou nanotechnologii, ve které je součinnost experimentu a kvantové teorie obzvláště významná. Jde o metodu nanolitografie pro tvorbu nanostruktur na povrchu substrátu, zvanou FEBID (focused electron beam induced deposition). Omezili jsme citace jen na několik přehledných referátů z poslední doby, ve kterých jsou odkazy na literaturu z předchozích let. Níže popíšeme princip této metody, možnosti jejího využití a její přednosti vůči doposud používaným metodám nanolitografie. Ukážeme, že metoda má solidní teoretický základ, avšak že možnosti numerické realizace jsou stále nedostatečné pro objasnění rozpadu komplexních sloučenin nárazem elektronu. Je to způsobeno tím, že pro popis srážek elektronu s molekulami je třeba použít kvantovou teorii elektronového rozptylu, což je složitější a výpočtově náročnější než kvantověchemické výpočty. Zmíníme se o současnémnstavu aplikací teorie rozptylu pro potřeby nanolitografie a naznačíme, kudy by se měl další vývoj ubírat. Zmíníme se i o tom, že pokrok v této oblasti má i obecnější význam pro chemii. Chemické reakce iniciované nárazem elektronu probíhají nejen v kosmu, ale jsou důležitou součástí atmosférických a pozemských jevů, abychom jmenovali alespoň princip hmotové spektroskopie a poškození DNA vlivem záření o vysoké energii.n

Název v anglickém jazyce

Electron Beam Induced Chemical Processes in the Nanolithographic Method FEBID and Their Description by Means of the Electron Scattering Theory

Popis výsledku anglicky

This paper is dealing with the focused electron beam ninduced deposition (FEBID), a nanolithographic method nused for fabrication of devices for nanoelectronics, na-nnosensors, and other types of nanotechnologies. Funda-nmentals, merits, limitations, present and potential applica-ntions of FEBID are discussed. Electron beam induced nchemistry is a complicated process including several reac-ntion channels. So far this complexity does not allow to ndevelop a detailed understanding of the microscopic for-nmation of deposits. Therefore, the development of theoreti-ncal models represents a topical task to interpret and supple-nment the available experimental data, and, ideally, to pre-ndict optimum parameters for the FEBID nanofabrication. nFor FEBID, the electron scattering theory can be applied nas a proper and rigorous theoretical tool. We present an nattempt to show how it can be used to evaluate cross sec-ntions for dissociative electron attachment – an important nchannel in decomposition of FEBID precursors by electron nimpact.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10403 - Physical chemistry

Projekt

<a href="/cs/project/GA18-02098S" target="_blank" >GA18-02098S: Teorie rozkladu molekul po srážce s elektronem</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Chemické listy

ISSN

0009-2770

e-ISSN

—

Svazek periodika

112

Číslo periodika v rámci svazku

10

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

678-682

Kód UT WoS článku

000449333700008

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85056638104