Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F16%3A00459129" target="_blank" >RIV/61389005:_____/16:00459129 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/44555601:13440/16:43887625

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2015.10.006" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2015.10.006</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2015.10.006" target="_blank" >10.1016/j.nimb.2015.10.006</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography

Popis výsledku v původním jazyce

Proton beam writing technique was recently introduced at 3 MV Tandetron accelerator at Nuclear Physics Institute in Rez (Czech Republic). It has been used, to produce three-dimensional (3D) micro-structures in poly(methylmethacrylate) by 2.0 MeV and 2.6 MeV protons micro-beam. Micro-channels (52 mu m x 52 mu m) have been realized. nAfter chemical etching, the quality of the bottom and side walls of the produced structures in PMMA were analyzed using Scanning Transmission Ion Microscopy (STIM).

Název v anglickém jazyce

Micro-patterns fabrication using focused proton beam lithography

Popis výsledku anglicky

Proton beam writing technique was recently introduced at 3 MV Tandetron accelerator at Nuclear Physics Institute in Rez (Czech Republic). It has been used, to produce three-dimensional (3D) micro-structures in poly(methylmethacrylate) by 2.0 MeV and 2.6 MeV protons micro-beam. Micro-channels (52 mu m x 52 mu m) have been realized. nAfter chemical etching, the quality of the bottom and side walls of the produced structures in PMMA were analyzed using Scanning Transmission Ion Microscopy (STIM).

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B

ISSN

0168-583X

e-ISSN

—

Svazek periodika

371

Číslo periodika v rámci svazku

MAR

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

344-349

Kód UT WoS článku

000373412000069

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-84960450086