Recent Progress in Ion Beam Fabrication of Integrated Optical Elements

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F17%3A00488748" target="_blank" >RIV/61389005:_____/17:00488748 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1109/ICTON.2017.8024871" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1109/ICTON.2017.8024871</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1109/ICTON.2017.8024871" target="_blank" >10.1109/ICTON.2017.8024871</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Recent Progress in Ion Beam Fabrication of Integrated Optical Elements

Popis výsledku v původním jazyce

Planar optical waveguides and Bragg gratings were designed and written in various optical crystals with medium energy ion implantation. Some examples of the fabricated integrated optical elements are presented in this article: Planar optical waveguides fabricated in Er: LiNbO3 crystal by irradiation with 5 MeV N3+ ions, and Bragg gratings fabricated by multi-energy implantation into a silicon substrate with N+ ions in the 800 keV - 3.5 MeV energy range. The SRIM code was used for planning the optical elements. The ion implanted optical elements were tested by spectroscopic ellipsometry and visible and infrared reflectometry. The results show that the proposed fabrication methods can produce integrated optical elements of adequate parameters.

Název v anglickém jazyce

Recent Progress in Ion Beam Fabrication of Integrated Optical Elements

Popis výsledku anglicky

Planar optical waveguides and Bragg gratings were designed and written in various optical crystals with medium energy ion implantation. Some examples of the fabricated integrated optical elements are presented in this article: Planar optical waveguides fabricated in Er: LiNbO3 crystal by irradiation with 5 MeV N3+ ions, and Bragg gratings fabricated by multi-energy implantation into a silicon substrate with N+ ions in the 800 keV - 3.5 MeV energy range. The SRIM code was used for planning the optical elements. The ion implanted optical elements were tested by spectroscopic ellipsometry and visible and infrared reflectometry. The results show that the proposed fabrication methods can produce integrated optical elements of adequate parameters.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/LM2015056" target="_blank" >LM2015056: Centrum urychlovačů a jaderných analytických metod</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

International Conference on Transparent Optical Networks-ICTON

ISBN

978-1-5386-0859-3

ISSN

2162-7339

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

IEEE

Místo vydání

New York

Místo konání akce

Girona

Datum konání akce

2. 7. 2017

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000427031500146