Simulace optické soustavy depozičního monitoru
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F13%3A00427433" target="_blank" >RIV/61389021:_____/13:00427433 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Simulace optické soustavy depozičního monitoru
Popis výsledku v původním jazyce
Zpráva popisuje výsledek modelování stávajícího vysílací a přijímací optické soustavy systému pro monitorování procesu vakuové depozice. Výsledek je diskutován s pozorovanými vlastnostmi systému, zejména chování pro různé vlnové délky a optická propustnost. Na základě analýzy je provedena matematická optimalizace nastavení komponent systému s cílem zlepšení výkonu a robustnosti.
Název v anglickém jazyce
Simulation of optical system of deposition controller
Popis výsledku anglicky
The report describes results of modeling of optical system which is component of optical monitoring system applied on machines for vacuum thin film deposition. Results were compared to real behavior of system, especially chromatic properties and total throughput. A numerical optimization, based on analysis results, was performed in order to improve throughput and ruggedness of the system.
Klasifikace
Druh
V<sub>souhrn</sub> - Souhrnná výzkumná zpráva
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Počet stran výsledku
21
Místo vydání
Turnov
Název nakladatele resp. objednatele
—
Verze
—