Super-polishing of Zerodur aspheres by means of conventional polishing technology

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F15%3A00444558" target="_blank" >RIV/61389021:_____/15:00444558 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2175899" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2175899</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2175899" target="_blank" >10.1117/12.2175899</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Super-polishing of Zerodur aspheres by means of conventional polishing technology

Popis výsledku v původním jazyce

This paper describes a quest to find simple technique to superpolish Zerodur asphere (55 mu m departure from best fit sphere) that could be employed on old fashion way 1-excenter optical polishing machine. The work focuses on selection of polishing technology, study of different polishing slurries and optimization of polishing setup. It is demonstrated that either by use of fine colloidal CeO2 slurry or by use of bowl-feed polishing setup with CeO2 charged pitch we could reach 0.4nm RMS roughness whileremoving <30nm of surface layer. This technique, although not optimized, was successfully used to improve surface roughness on already prepolished Zerodur aspheres without necessity to involve sophisticated super-polishing technology and highly trained manpower

Název v anglickém jazyce

Super-polishing of Zerodur aspheres by means of conventional polishing technology

Popis výsledku anglicky

This paper describes a quest to find simple technique to superpolish Zerodur asphere (55 mu m departure from best fit sphere) that could be employed on old fashion way 1-excenter optical polishing machine. The work focuses on selection of polishing technology, study of different polishing slurries and optimization of polishing setup. It is demonstrated that either by use of fine colloidal CeO2 slurry or by use of bowl-feed polishing setup with CeO2 charged pitch we could reach 0.4nm RMS roughness whileremoving <30nm of surface layer. This technique, although not optimized, was successfully used to improve surface roughness on already prepolished Zerodur aspheres without necessity to involve sophisticated super-polishing technology and highly trained manpower

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JP - Průmyslové procesy a zpracování

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/LO1206" target="_blank" >LO1206: Moderní optické systémy a technologie</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of SPIE Vol. 9442: Optics and Measurement Conference 2014

ISBN

978-1-62841-557-5

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

944212-944212

Název nakladatele

SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Liberec

Datum konání akce

7. 10. 2014

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000349403500037