Keramicko-metalický Hallův senzor pro měření magnetického pole termojaderného energetického reaktoru
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F24%3A00644660" target="_blank" >RIV/61389021:_____/24:00644660 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Keramicko-metalický Hallův senzor pro měření magnetického pole termojaderného energetického reaktoru
Popis výsledku v původním jazyce
Keramicko-metalický Hallův senzor zahrnuje podkladový substrát z materiálu Al2O3, elektrické kontaktní elektrody nanesené na keramický substrát technologii TPC a citlivou vrstvu antimonu ve tvaru kříže s tloušťkou cca 160 nm deponovanou magnetronovým naprašováním. Citlivá vrstva antimonu je propojena s kontaktními elektrodami čtvercovými vodivými plochami se slitiny TiW (10-90), která slouží jako difusní bariéra zabraňující kontaminaci citlivé vrstvy Hallova senzoru materiálem kontaktních ploch. Povrch senzoru je pasivován 4 mikrometry tlustou vrstvou Al2O3 deponovanou reaktivním magnetronovým naprašováním.
Název v anglickém jazyce
Composite ceramic-metal Hall sensor for magnetic field measurements in thermonuclear reactors
Popis výsledku anglicky
The ceramic-metallic Hall sensor consists of a substrate made of Al₂O₃, electrical contact electrodes deposited on the ceramic substrate using TPC technology, and a cross-shaped sensitive layer of antimony with a thickness of approximately 160 nm, deposited by magnetron sputtering. The sensitive antimony layer is connected to the contact electrodes through square conductive pads made of a TiW (10-90) alloy, which serves as a diffusion barrier preventing contamination of the Hall sensor's sensitive layer by the contact pad material. The sensor surface is passivated with a 4-micrometer-thick Al₂O₃ layer deposited by reactive magnetron sputtering.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
—
OECD FORD obor
10304 - Nuclear physics
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TK03030070" target="_blank" >TK03030070: MAgnetická Senzorika Termojaderných Energetických Reaktorů (MASTER)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2024
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
TK03030070-V6
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek Hallova senzoru je založen na antimonové citlivé vrstvě, přičemž senzor je vybaven difúzní bariérou bránící difúzi mědi do antimonu.
Ekonomické parametry
Umožňuje navazující dodávky a smluvní výzkum v rozsahu cca 500 tisíc Kč.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
61389021
Název vlastníka
Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—