Spectral ellipsometry based on a channeled spectrum detection to measure the thickness of a thin film

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F10%3A86076200" target="_blank" >RIV/61989100:27350/10:86076200 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spectral ellipsometry based on a channeled spectrum detection to measure the thickness of a thin film

Popis výsledku v původním jazyce

We describe a new concept of spectral ellipsometry based on a channeled spectrum detection in a polarimetric configuration with a birefringent crystal to measure the thickness of a thin film.

Název v anglickém jazyce

Spectral ellipsometry based on a channeled spectrum detection to measure the thickness of a thin film

Popis výsledku anglicky

We describe a new concept of spectral ellipsometry based on a channeled spectrum detection in a polarimetric configuration with a birefringent crystal to measure the thickness of a thin film.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ED0040%2F01%2F01" target="_blank" >ED0040/01/01: Regionální materiálově technologické výzkumné centrum</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of SPIE

ISBN

—

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

—

Název nakladatele

SPIE-The International Society for Optical Engineering

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Liptovský Ján

Datum konání akce

6. 9. 2010

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—