Application of infrared ATR ellipsometry for measurement of solid samples: Calibration procedure
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27360%2F11%3A86080393" target="_blank" >RIV/61989100:27360/11:86080393 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Application of infrared ATR ellipsometry for measurement of solid samples: Calibration procedure
Popis výsledku v původním jazyce
Attenuated total reflection (ATR) is widely used in infrared spectral range for measurement of surface properties of solid samples, powders, and liquids. In this paper we use a commercial Fourier-transform infrared (FTIR) spectrometer Vertex 70v from Bruker company equipped with the ATR Golden Gate accessory from Specac. To increase sensitivity of the method we included infrared polarizer and analyzer, which enable measurement of the reflected amplitudes ratio and the phase differences between p- and s-polarizations in the frame of the ATR ellipsometry. Procedure of ellipsometric angles measurement is proposed using data acquisition at several azimuthal angles of polarizers. Spectral dependence of real polarizer extinction ratio, partial polarization of beam coming from the interferometer and polarization sensitivity of infrared detector are presented.
Název v anglickém jazyce
Application of infrared ATR ellipsometry for measurement of solid samples: Calibration procedure
Popis výsledku anglicky
Attenuated total reflection (ATR) is widely used in infrared spectral range for measurement of surface properties of solid samples, powders, and liquids. In this paper we use a commercial Fourier-transform infrared (FTIR) spectrometer Vertex 70v from Bruker company equipped with the ATR Golden Gate accessory from Specac. To increase sensitivity of the method we included infrared polarizer and analyzer, which enable measurement of the reflected amplitudes ratio and the phase differences between p- and s-polarizations in the frame of the ATR ellipsometry. Procedure of ellipsometric angles measurement is proposed using data acquisition at several azimuthal angles of polarizers. Spectral dependence of real polarizer extinction ratio, partial polarization of beam coming from the interferometer and polarization sensitivity of infrared detector are presented.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Photonics, Devices, and Systems V : conference proceedings : 24-26 August 2011, Prague, Czech Republic
ISBN
978-0-8194-8953-1
ISSN
0277-786X
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
"83060S"
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Bellingham
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
24. 8. 2011
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000297582500028