Laser micromachining of glass, silicon and ceramics. A review
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F15%3A33154955" target="_blank" >RIV/61989592:15310/15:33154955 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.eijst.org.uk/images/frontImages/gallery/Vol._4_No._7/6._41-49.pdf" target="_blank" >http://www.eijst.org.uk/images/frontImages/gallery/Vol._4_No._7/6._41-49.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Laser micromachining of glass, silicon and ceramics. A review
Popis výsledku v původním jazyce
A brief review is focused on laser micromachining of materials. Micromachining of materials is highly widespread method used in many industries, including semiconductors, electronic, medical, automotive, communication and aerospace. This method is a promising tool for material processing with micron and submicron resolution. In this paper micromachining of glass, silicon and ceramics is considered. Interaction of these materials with laser radiation and recent research held on laser material treatment is provided.
Název v anglickém jazyce
Laser micromachining of glass, silicon and ceramics. A review
Popis výsledku anglicky
A brief review is focused on laser micromachining of materials. Micromachining of materials is highly widespread method used in many industries, including semiconductors, electronic, medical, automotive, communication and aerospace. This method is a promising tool for material processing with micron and submicron resolution. In this paper micromachining of glass, silicon and ceramics is considered. Interaction of these materials with laser radiation and recent research held on laser material treatment is provided.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
European International Journal of Science and Technology
ISSN
2304-9693
e-ISSN
—
Svazek periodika
4
Číslo periodika v rámci svazku
7
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
41-49
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—