Plazmová aparatura s nanoklastrovým depozičním zdrojem; popis konstrukčního řešení, konstrukční dokumentace; výsledek č. TA04011156-2015V003
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F15%3A33156241" target="_blank" >RIV/61989592:15310/15:33156241 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Plazmová aparatura s nanoklastrovým depozičním zdrojem; popis konstrukčního řešení, konstrukční dokumentace; výsledek č. TA04011156-2015V003
Popis výsledku v původním jazyce
Technická dokumentace k realizované plazmové aparatuře s nanoklastrovým depozičním zdrojem zahrnuje popis konstrukčního řešení včetně montážních postupů základní vakuové komory depozičního reaktoru, adaptérů pro různé typy vakuových přírub, otočného stolku s držákem substrátů pro teploty do 800 oC , konstrukční řešení optimalizované konfigurace depozičních magnetronů a nosného spojovacího systému. Pro depozici klastrů je na přírubě s magnetrony umístěna trubice s průtokem argonu a diafragmou.
Název v anglickém jazyce
Plasma apparatus with nanocluster deposition source; description of the construction design, construction documentation; result no. TA04011156-2015V003
Popis výsledku anglicky
The technical documentation for the implemented plasma apparatus with nanocluster deposition source includes a description of construction arrangement together with assembly procedures of basic vacuum chamber of the deposition reactor, flange adapters for using of different types of vacuum flanges, rotary table with a substrate holder for temperatures up to 800 oC, optimised construction design for configuration of deposition magnetrons and a supporting connecting system. For deposition of clusters, the flange with the magnetrons is equipped with a tube enabling flow of argon into the chamber and with a diaphragm.
Klasifikace
Druh
V<sub>souhrn</sub> - Souhrnná výzkumná zpráva
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TA04011156" target="_blank" >TA04011156: Funkční tenkovrstvé optické struktury.</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Počet stran výsledku
12
Místo vydání
—
Název nakladatele resp. objednatele
Technologická agentura České republiky
Verze
—