Měření aberací projekční litografické optiky pomocí metody intenzitních skenů

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F20%3A73605189" target="_blank" >RIV/61989592:15310/20:73605189 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://obd.upol.cz/id_publ/333185075" target="_blank" >https://obd.upol.cz/id_publ/333185075</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Měření aberací projekční litografické optiky pomocí metody intenzitních skenů
Popis výsledku v původním jazyce
Byla vyvinuta technologie rekonstrukce fáze pro účely měření kvality projekční optiky, zejména mikroskopových a litografických objektivů s vyššími numerickými aperturami. Navržené rekonstrukční algoritmy pokrývají širokou škálu numerických apertur (0 < NA < 0,5). Na dvou objektivech (NA=0.1 a NA=0.279) byla provedena srovnávací měření s využitím Shackova-Hartmannova senzoru vlnoplochy. Na základě dosažených hodnot je možné považovat technologii rekonstrukce fáze za ověřenou.
Název v anglickém jazyce
Wavefront measurement of projection lithography optics by intensity scans
Popis výsledku anglicky
Algorithms of phase retrieval technique from several intensity scans around focal point were finished and tested on numerical datasets with satisfying results. Comparison with existing metrology systems was performed to validate the methodology with positive results.

Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu
TN01000008_05_V001
Číselná identifikace
05-V001
Technické parametry
Prvním krokem je vytvoření přesného difrakčního modelu PSF v rovinách detekce. Tyto roviny jsou vybrány na základě provedených numerických simulací optického systému s jeho nominálními hodnotami parametrů: vlnová délka λ , numerická apertura NA , velikost zdroje a použitý typ kamery (velikost pixelu). Výsledkem je analytický model PSF v několika rovinách. Druhým krokem je samotná rekonstrukce fáze metodou nelineární globální optimalizace. Je proveden hrubý odhad metodou RandomSearch, úprava modelu na systematickou chybu absolutní pozice kamery vůči ohniskové rovině měřeného objektivu. Při této operaci se minimalizuje hodnota rekonstruovaného Zernikeova koeficientu pro defokus. Finální rekonstrukce je provedena algoritmem Nelder-Mead
Ekonomické parametry
Technologie je používána pro výzkumné a výukové účely.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
61989592
Název vlastníka
Meopta-optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
https://obd.upol.cz/id_publ/333185075

Podobné výsledky(10)